第一步、真空解析。除氧設備采用全密閉結構，運行期間自始至終處于真空狀態。給水首先通過旋膜器裝置，在負壓作用下被除去50％～80％的溶解氧。
第二步、真空電化學除氧器。除氧整套設備設置電解分離缸，電解分離缸陰極和陽極組成分解水道，構成電解分離總成，水在兩極間通過。如下圖所示：在外接直流電源的作用下，陽極：失電子產生二價鐵離子；陰極：氧得電子被消耗產生氫氧根。
Fe0-2e——Fe2O2 2e H2O——OH-
這一步真空電化學除氧器的除氧過程是純粹的電化學除氧，即陽極失電子。氧必須在陰極得電子被消耗，因此它是一種主動的人為的除氧過程。而海綿鐵除氧過程是一種自然腐蝕過程，也是被動的除氧過程，它受到水溫、流量、流速、表面腐蝕物覆蓋板結、反沖洗等因素的嚴格限制；同時它是原電池反應，其能量級與LSHK電解分離相比差1000倍。
第三步真空電化學除氧器。說到化學除氧人們自然聯想到投藥，而本設備的第三步化學除氧無需投藥利用了第二步電化學除氧后的產物氫氧化亞鐵Fe(0H)再與水中的溶解氧O；反應。徹底吃掉溶解氧，達到化學除氧的目的，即：Fe(OH)2 O2 H2O—Fe(OH)濕而易見本除氧設備在第二步和第三步除氧過程中除氧來得迅速、徹底，不但可以消除水中溶解氧，同時可以消除系統中殘余溶解氧。
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